อภิธานศัพท์

คำศัพท์และคำจำกัดความสำคัญสำหรับเทคโนโลยีคลีนรูมและการตรวจวัดอนุภาค

Products

เครื่องนับอนุภาค

เครื่องมือที่ตรวจจับและนับจำนวนอนุภาคในอากาศหรือของเหลว ใช้เพื่อเฝ้าระวังระดับการปนเปื้อนในคลีนรูม

เครื่องนับอนุภาคในอากาศ (APC)

เครื่องนับอนุภาคสำหรับวัดอนุภาคแขวนลอยในอากาศ ใช้ในการจัดชั้นคลีนรูม การตรวจรับรอง และการเฝ้าระวังประจำวัน

เครื่องนับอนุภาคแบบมือถือ

เครื่องนับอนุภาคแบบพกพาสำหรับตรวจเช็คแบบจุด (spot check) การแก้ปัญหา และการวัดแบบเคลื่อนที่

เครื่องนับอนุภาคแบบตั้งโต๊ะ

เครื่องนับอนุภาคแบบติดตั้งคงที่ เหมาะกับห้องแล็บหรือสถานีเฝ้าระวัง มักให้การวัดที่รวดเร็วและอัตราการไหลสูงกว่าแบบมือถือ

เครื่องนับอนุภาคแบบออนไลน์

เครื่องนับอนุภาคสำหรับการเฝ้าระวังต่อเนื่อง/เกือบเรียลไทม์ ติดตั้งที่จุดคงที่และเชื่อมต่อซอฟต์แวร์เพื่อดูแนวโน้มและตั้งเตือน

LSAPC

ตัวย่อที่มักใช้กับ Laser Sampling Airborne Particle Counter หมายถึงเครื่องมือแบบเลเซอร์สำหรับนับอนุภาคในอากาศเพื่อการเฝ้าระวังคลีนรูม

ระบบตรวจติดตามอนุภาคแบบศูนย์กลาง

ระบบที่เชื่อมต่อเครื่องนับอนุภาค/เซนเซอร์หลายจุดเข้ากับซอฟต์แวร์ส่วนกลาง เพื่อการเฝ้าระวังแบบเรียลไทม์ การเตือน แนวโน้ม และรายงานการปฏิบัติตามข้อกำหนด

เครื่องเก็บตัวอย่างจุลชีพในอากาศ

เครื่องมือที่เก็บจุลชีพในอากาศลงบนอาหารเลี้ยงเชื้อ (เช่น จานอะการ์) เพื่อประเมินการปนเปื้อนทางจุลชีววิทยาในพื้นที่สะอาด

เครื่องวัดอัตราการไหลของอากาศ

เครื่องมือสำหรับวัดความเร็วลมหรือปริมาตรลม ใช้ในการตรวจสอบ HVAC การบาลานซ์ลม และการตรวจรับรองคลีนรูม

เครื่องกำเนิดควัน

อุปกรณ์สร้างควัน/แอโรซอลที่มองเห็นได้เพื่อแสดงทิศทางการไหลของอากาศ ช่วยในการศึกษาลมและการตรวจรับรองคลีนรูม

การทดสอบการรั่วของไส้กรอง HEPA

ขั้นตอนทดสอบความสมบูรณ์ของไส้กรอง HEPA/ULPA และการติดตั้ง โดยปล่อยแอโรซอลท้าทายและสแกนหาแหล่งรั่ว

โฟโตมิเตอร์วัดแอโรซอล

เครื่องมือวัดความเข้มข้นของแอโรซอล ใช้ร่วมกับแอโรซอลท้าทายในงานทดสอบการรั่วของไส้กรอง HEPA/ULPA

เครื่องสลับสุ่มตัวอย่างหลายจุด

อุปกรณ์ที่สลับการเก็บตัวอย่างระหว่างหลายพอร์ตตามลำดับ ทำให้เครื่องนับอนุภาคหนึ่งเครื่องสามารถเฝ้าระวังหลายจุดได้

General

ห้องคลีนรูม

สภาพแวดล้อมที่ควบคุมความเข้มข้นของอนุภาคในอากาศให้อยู่ในขีดจำกัดที่กำหนด

ช่องขนาดอนุภาค

ช่องการวัดที่รายงานจำนวนอนุภาคตั้งแต่ขนาดที่กำหนดขึ้นไป (เช่น ≥0.5 µm หรือ ≥5.0 µm)

อัตราการไหลการสุ่มตัวอย่าง

ปริมาตรอากาศที่เครื่องมือดูดผ่านระบบต่อหน่วยเวลา (เช่น 28.3 L/min) ซึ่งมีผลต่อความเป็นตัวแทนของตัวอย่างและเวลาได้ผลลัพธ์

ค่าเกณฑ์เตือน

ค่าขีดจำกัดที่ตั้งไว้ล่วงหน้า เมื่อจำนวนอนุภาคหรือพารามิเตอร์อื่นเกินค่าจะทริกเกอร์การเตือน

การบันทึกข้อมูล

การบันทึกและจัดเก็บผลการวัด (เช่น จำนวนอนุภาค เวลา และจุดวัด) เพื่อการวิเคราะห์ การติดตามย้อนกลับ และการตรวจสอบ

การสอบเทียบ

กระบวนการตรวจสอบและปรับเทียบเครื่องมือกับมาตรฐานที่ตรวจสอบย้อนกลับได้ เพื่อให้ความแม่นยำของการวัดเป็นไปตามข้อกำหนด

การเก็บตัวอย่างแบบกระแทก (Impaction)

วิธีเก็บตัวอย่างจุลชีพที่ทำให้อากาศพุ่งผ่านหัวเก็บตัวอย่างและให้อณู/จุลชีพกระแทกตกลงบนผิวจานอะการ์เพื่อบ่มและนับโคโลนี

Standards

ISO 14644

ชุดมาตรฐานสากลสำหรับคลีนรูมและสภาพแวดล้อมควบคุมที่เกี่ยวข้อง

GMP (หลักเกณฑ์วิธีการที่ดีในการผลิต)

ระบบข้อกำหนดเพื่อให้มั่นใจว่าสินค้าถูกผลิตและควบคุมอย่างสม่ำเสมอตามมาตรฐานคุณภาพ