术语表
洁净室技术与污染控制的常用术语及定义。
Products
粒子计数器
一种用于检测和计数空气或液体中悬浮粒子的仪器,广泛用于洁净室污染水平的监测。
悬浮粒子计数器(APC)
用于测量空气中悬浮粒子数量与粒径分布的粒子计数器,常用于洁净室分级、验证与日常监测。
手持式粒子计数器
便携式粒子计数器,适用于现场巡检、快速排查与移动点位测量。
台式粒子计数器
通常固定在实验室或洁净室监测站使用的粒子计数器,往往具备更高的采样流量与更快的测量效率。
在线式粒子计数器
用于连续或准实时监测的粒子计数器,通常安装在洁净室固定点位并接入监控软件进行趋势与报警管理。
LSAPC
常用于 Laser Sampling Airborne Particle Counter 的缩写,指基于激光等原理对空气悬浮粒子进行计数与监测的仪器。
在线粒子监测系统
将多台粒子计数器/远程传感器接入统一软件平台,实现实时监控、报警、趋势分析与合规报表输出的系统。
浮游菌采样器
将空气中的微生物采集到培养基(如琼脂平皿)上的采样仪器,用于洁净环境的微生物监测。
风量仪
用于测量风速或风量的仪器,常用于 HVAC 系统核查、洁净室送回风平衡与验证测试。
烟雾发生器
产生可视烟雾/气溶胶以观察气流走向与湍流情况的设备,常用于气流组织研究、HVAC 排查与洁净室验证。
HEPA 检漏测试
通过挑战气溶胶并对过滤器及其密封安装进行扫描检测,以验证 HEPA/ULPA 过滤器完整性并定位泄漏点的测试。
气溶胶光度计
用于测量气溶胶浓度的仪器,常与挑战气溶胶配合用于 HEPA/ULPA 过滤器检漏测试。
多点采样器
可在多个采样点之间按顺序切换采样的装置,使一台粒子计数器能够轮巡监测多个点位。
General
洁净室
一个受控环境,其中空气中的微粒浓度被控制在特定限值内,并对温度、湿度和压力等参数进行控制。
粒径通道
按粒径阈值划分的计数通道,用于报告大于等于某一粒径的粒子数(如 ≥0.5µm、≥5.0µm)。
采样流量
仪器单位时间抽取的空气体积(如 28.3 L/min),会影响采样代表性与出结果速度。
报警阈值
预先设置的限值,当粒子计数或其他参数超过该值时触发声光/系统报警。
数据记录(Data Logging)
对测量结果进行自动记录与存储(包含时间戳、点位、粒子计数等),用于追溯、分析与合规审计。
校准
依据可追溯标准对仪器进行验证与调整的过程,用于确保测量准确性与满足合规要求。
撞击式采样
一种常见的浮游菌采样方式:空气经喷嘴/采样头加速后使颗粒撞击沉积到琼脂表面,培养后进行菌落计数。
Standards
Components
HEPA 过滤器
高效空气过滤器 (High Efficiency Particulate Air Filter),对 0.3 微米 (µm) 粒子的过滤效率达到 99.97% 以上。
琼脂平皿
用于培养与计数微生物的培养基平皿,常配合浮游菌采样器进行环境监测并统计 CFU。
PAO 气溶胶
HEPA/ULPA 检漏测试常用的挑战气溶胶之一,配合光度计对上下游浓度进行对比以判断是否泄漏。
等速采样探头
使探头入口流速与被采样点气流速度匹配的采样探头,可降低采样偏差并提升测量代表性。
采样歧管(阀组)
用于分配或切换多个采样管路的歧管/阀组,常见于多点采样与在线监测系统的采样架构中。
泄压阀(压力释放阀)
当系统压力超过设定值时自动释放压力的安全组件,用于保护设备并维持系统稳定运行。