术语表

洁净室技术与污染控制的常用术语及定义。

Products

粒子计数器

一种用于检测和计数空气或液体中悬浮粒子的仪器,广泛用于洁净室污染水平的监测。

悬浮粒子计数器(APC)

用于测量空气中悬浮粒子数量与粒径分布的粒子计数器,常用于洁净室分级、验证与日常监测。

手持式粒子计数器

便携式粒子计数器,适用于现场巡检、快速排查与移动点位测量。

台式粒子计数器

通常固定在实验室或洁净室监测站使用的粒子计数器,往往具备更高的采样流量与更快的测量效率。

在线式粒子计数器

用于连续或准实时监测的粒子计数器,通常安装在洁净室固定点位并接入监控软件进行趋势与报警管理。

LSAPC

常用于 Laser Sampling Airborne Particle Counter 的缩写,指基于激光等原理对空气悬浮粒子进行计数与监测的仪器。

在线粒子监测系统

将多台粒子计数器/远程传感器接入统一软件平台,实现实时监控、报警、趋势分析与合规报表输出的系统。

浮游菌采样器

将空气中的微生物采集到培养基(如琼脂平皿)上的采样仪器,用于洁净环境的微生物监测。

风量仪

用于测量风速或风量的仪器,常用于 HVAC 系统核查、洁净室送回风平衡与验证测试。

烟雾发生器

产生可视烟雾/气溶胶以观察气流走向与湍流情况的设备,常用于气流组织研究、HVAC 排查与洁净室验证。

HEPA 检漏测试

通过挑战气溶胶并对过滤器及其密封安装进行扫描检测,以验证 HEPA/ULPA 过滤器完整性并定位泄漏点的测试。

气溶胶光度计

用于测量气溶胶浓度的仪器,常与挑战气溶胶配合用于 HEPA/ULPA 过滤器检漏测试。

多点采样器

可在多个采样点之间按顺序切换采样的装置,使一台粒子计数器能够轮巡监测多个点位。